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2024年7月28日，芜湖映日科技股份有限公司取得一项名为“一种制备太阳能电池行业ITO旋转靶材的方法“，授权公告号CN116332637B，申请日期为2023年2月。专利摘要显示，本发明属于ITO靶材制造的技术领域，涉及一种制备太阳能电池行业ITO旋转靶材的方法；步骤S1：原材料选择；步骤S2：氧化铟锡粉末球磨；步骤S3：氧化铟+氧化锡混合粉末煅烧；步骤S4：氧化铟+氧化锡煅烧粉末研磨；步骤S5：喷雾造粒；步骤S6：成型；步骤S7：高温烧结；步骤S8：靶材经过加工绑定没有产生裂纹；将烧结后的靶材使用磨床加工成客户需要的尺寸；本发明通过先煅烧的方式，使氧化锡先固溶进氧化铟分子中，避免烧结过程中因剧烈相变产生靶材破裂，因粉末经过提前煅烧，从而制得的ITO靶材晶粒尺寸细小，晶界增多，从而提高了ITO靶材强度。
